芯片工艺中overlay什么意思

芯片工艺中overlay什么意思

芯片工艺中overlay的意思：套刻精度(OverlayAccuracy)的基本含义是指前后两道光刻工序之间彼此图形的对准精度(3σ),如果对准的偏差过大,就会直卖局接影响产品的良率。

电路制造在半导体芯片表面上的集成电路又称薄膜（thin-film）集成电路。另有一种厚膜（thick-film）集成电路（hybrid integrated circuit）是由独立半导体设备和被动组件，集成到衬底中冲让或线路板所构成的小型化电路。

从1949年到1957年，维尔纳·雅各比（Werner Jacobi）、杰弗里·杜默（Jeffrey Dummer）、西德尼·达林顿（Sidney Darlington）、樽井康夫（Yasuo Tarui）都开发了原型，但现代集成电路是由杰克·基尔判友比在1958年发明的。

其因此荣获2000年诺贝尔物理奖，但同时间也发展出近代实用的集成电路的罗伯特·诺伊斯，却早于1990年就过世。